Laserprozesse

Gruppenbeschreibung

Die Gruppe „Laserprozesse“ entwickelt neue Technologien zum Laserprozessieren von Materialien für die Elektrotechnik. Neben dem Laser-Prozessieren kristalliner Silizium-Scheiben für Solarzellen und Halbleiterbauelemente, bildet die Herstellung poröser Anoden aus Silizium für Lithium-Ionen Batterien einen weiteren Schwerpunkt. Im Vordergrund unserer Arbeiten stehen die Weiterentwicklung unseres Laserdotier-Prozesses für rückseitenkontaktierte Solarzellen, sowie die Ablation dielektrischer Schichten. Weiterhin untersuchen wir das Dotieren und Aktivieren von Dotieratomen in einkristallinem Germanium für Halbleiterbauelemente sowie das Laser-Porosieren gesputterter Silizium-Schichten. In enger Zusammenarbeit mit den Gruppen „Industrielle Solarzellen“ und „Halbleitertechnologie“ am ipv optimieren wir unsere Laserprozesse zur Herstellung hocheffizienter, rückseitenkontaktierter Solarzellen mit einem Wirkungsgrad über 23%.



Kontakt

Jürgen Köhler

Jürgen Köhler, Gruppenleiter Laserprozesse