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Halbleitertechnologie

Halbleiterprozesse und Unterhalt der Infrastruktur sind unsere Aufgaben.

Halbleitertechnologiegruppe

Die Gruppe „Halbleitertechnologie“ setzt sich aus den technischen Mitarbeiterinnen und Mitarbeitern des Instituts zusammen. Unser interdisziplinäres Team ist so in der Lage, die Versorgung des Reinraums sicherzustellen und breitgefächerte Unterstützung für die wissenschaftlichen Mitarbeiterinnen, Mitarbeiter und Studierenden zu ermöglichen.

Halbleiterprozesse

Einen großen Bereich unserer Aufgaben nimmt die Durchführung wichtiger Prozesse zur Herstellung von Solarzellen für unser Institut ein. Dazu gehören Oxidationen, Diffusionen, Plasmadepositionen, nasschemische Reinigung und Ätzen, Metallisierung, Laserdotieren und vieles andere mehr. Wir entwickeln diese Technologien immer weiter, orientiert an neuen Anforderungen, die aus laufenden und neuen Projekten am ipv erwachsen. Die enge Vernetzung am Institut ermöglicht uns, immer wieder neue Qualitätskontrollstandards zu entwickeln und Prozessabläufe zu standardisieren.

Infrastruktur

Für unsere Prozesse stellen wir Reinstgase in einem Gassystem bereit, das sich über den kompletten Reinraum erstreckt. Außerdem versorgen wir die Nassbänke mit Chemikalien und bereiten unser Wasser in zwei Reinstwasseranlagen auf. Darüber hinaus stellen wir alle Arbeitsmittel bereit, die im Reinraum benötigt werden. Wir führen sicherheitsrelevante Unterweisungen durch und beraten alle Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter bei sicherheitstechnischen Problemstellungen. In unserer mechanischen Werkstatt erstellen wir Aufbauten für Probenhalterungen, Prototypen für Experimente und viele andere Werkstücke, die in vielen Fällen aus Edelstahl gefertigt werden.

Kontakt

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Dipl.-Ing. (FH)

Birgitt Winter

Leiterin Arbeitsgruppe Halbleitertechnologie