Laserprozesse

Im Vordergrund unserer Arbeiten steht die Weiterentwicklung von Laser-Prozessen für unsere hocheffizienten und kostengünstigen rückseitenkontaktierten Solarzellen aus kristallinem Silizium. In enger Zusammenarbeit mit den Gruppen „Industrielle Solarzellen“ und „Halbleitertechnologie“ am ipv optimieren wir das Laser-Dotieren, das Ablatieren und Strukturieren dünner Schichten, sowie das Laser-Schweißen von Metallfolien für die Kontaktierung. Weiterhin untersuchen wir die Aktivierung von Dotieratomen in Halbleitermaterialien durch Laser-Annealing, das Laser-Kristallisieren aufgedampfter Silizium- und Germanium-Schichten, sowie das Laser-Porosieren von gesputterten Silizium-Schichten zur Herstellung poröser Anoden aus Silizium für Lithium-Ionen Batterien.